產品規格表︰
| 型號 | 體積密度 (g/cm3) |
電阻值 (μΩm) |
楊式係數 (Gpa) |
抗折強度 (MPa) |
抗彎強度 (MPa) |
肖氏硬度 | 熱膨脹係數 (x10-6/℃) |
熱導率 (W/mK) |
灰份 (ppm) |
| G330 | 1.79 | 13~16 | 9.8 | 39.2 | 25.5 | 56 | 4.8 | 104 | 30 |
| G347 | 1.85 | 10~13 | 10.8 | 49 | 31.4 | 58 | 5.5 | 116 | 30 |
| G458 | 1.86 | 9.5 | 11.3 | 53.9 | 35.3 | 54 | 4.4 | 139 | 30 |
註: G330的材料適用於熱場加熱器
G347的材料適用於坩鍋托盤,坩鍋托杯, PECVD用的石墨晶舟
G458的材料適用於石墨坩鍋
產品規格表︰
| 型號 | 體積密度 (g/cm3) |
電阻值 (μΩm) |
抗拉強度 (MPa) |
抗壓強度 (MPa) |
熱膨脹係數 (x10-6/℃) |
熱導率 (W/mK) |
| CC26NF | 1.4 | 28 | 100 | 100 | 0.8 (//) | 2.6 (⊥) |
| CC27NF | 1.62 | 22 | 150 | 170 | 0.8 (//) | 2.6 (⊥) |
| CC28NF | 1.48 | 26 | 100 | 140 | 0.8 (//) | 2.8 (⊥) |
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