我們提供ZnO base的靶材, 包含了AZO, GZO, GAZO等類型, 以下為各類型之靶材比較
產品規格表︰
| 沉積速率 | ||
| 濺鍍條件: 0.3Pa, Ar100％, T-S=60mm, Ts=RT & 200℃, DC=300W | ||
| 產品別 | Disposition Rate (nm/min) | |
| RT | 200℃ | |
| AZO | 83.7 | 75.7 |
| GAZO | 90.4 | 81.9 |
| GZO | 101.3 | 91.4 |
| 光學特性 及 電阻數據 | |||||
| 薄膜 (200nm) 沉積過程無需加熱 濺鍍條件: 0.3Pa, Ar100％, T-S=60mm, Ts=RT & 200℃, DC=300W |
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| 成份 | Ga2O3 (wt％) | Al2O3 (wt％) | 片電阻值 (Ω/Sq2) | 厚度 (nm) | 阻值 (μΩcm) |
| 5.7 GZO | 5.70 | 0.00 | 34.8 | 201.9 | 703 |
| 0.5 GZO | 0.50 | 0.00 | 137.5 | 194.7 | 2680 |
| 2 AZO | 0.00 | 2.00 | 44.7 | 201.6 | 902 |
| High GAZO | 2027 | 1.23 | 36.4 | 214.5 | 781 |
| Low GAZO | 0.27 | 76.2 | 76.2 | 200.1 | 1520 |
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